行星减速器的精度以弧分表示，轴一转360度，一度=60弧分，行星减速器精度的测量方法是固定减速器的输入端，并在输出端的正负方向上加20％的额定扭矩。 输出轴的旋转度根据与输出端连接的丝杆和终精度要求计算。
行星减速器的精度是用角度来衡量的，没有具体的计算公式，应用广泛。行星减速器的精度一般在5-6分之间，精度高的可达3分。
测量行星减速器精度有四种方法：
1、静态测量：是指在一个静止状态下，从行星减速器回差的定义方面入手，测量运动方向可以改变时输出端在转角上的滞后量，主要有多面体法和滞回曲线法。
2、多面体法：利用测角装置、自准平行光管、多面棱镜测量行星减速器的差值，测量角装置安装在输入轴上，并通过采集卡采集输入轴角、固定在输出轴上的多平面棱镜，调整准平行光管垂直多面体，观察多面体观测定位。当输入轴为正反转时，两个限角之间的差除以传动比作为输出轴返回差。
3、动态测量：是指在接近行星减速器的工作状态下，对行星减速器的齿隙进行动态连续测量，主要测量方法为双向传递误差法。
4、滞回曲线法: 工业上通常采用滞回曲线法测量行星减速器的间隙，减速器的几何间隙定义为: 在传动链中，当为克服内摩擦和油膜阻力而采用 ± 3％ 额定扭矩时，当零件之间接触良好时，由于齿侧间隙、轴承间隙和其他轴角误差等几何因素，又称间隙返回或间隙返回。在测量过程中，锁定减速器的一端，将另一端加载到额定扭矩上，然后进行倾斜卸载。
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