行星减速器齿轮的热处理变形直接影响齿轮的精度、强度、噪声和寿命，即使经过渗碳热处理和磨削加工，变形仍然会降低齿轮的精度等级。在热处理过程中影响渗碳变形的因素很多，只有控制各方面，才能使变形得到较少的控制。 那么常见的行星减速机齿轮处理工艺有哪些呢？
1、表面淬火：常见的表面淬火方法有高频淬火（小尺寸齿轮）和火焰淬火（大尺寸齿轮）。当表面硬化层包含齿根底部时，硬化效果好。
2、渗碳淬火：热处理淬火齿轮的承载能力相对来说大，但为了能够保证数据精度，必须通过采用精加工工序（磨齿）消除热处理变形。淬火齿轮的硬度应从齿面到深度逐渐降低，有效渗碳深度应根据表面到深度逐渐降低，有效渗碳深度应根据表面到52.5HRC硬度确定。
3、渗氮：氮化处理可以使齿轮齿在变形小的情况下获得很高的硬度和耐磨性，热处理后不会进行终精加工，从而提高承载能力。 这对于不易研磨的内齿轮尤其重要。
4、硬度组合啮合齿轮：当两个齿轮都是软齿面时，小齿轮的硬度都高于大齿轮。然而，当两个轮子都是硬齿和硬度是相同的。
行星减速器材料质量好的选用，有利于提高行星减速器的承载能力和使用寿命。
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