齿轮是精密行星减速机的关键零部件，精密行星减速机出现失效的情况主要原因之一就是齿轮损坏，而齿轮损坏形式有: 齿面坑蚀、齿面断裂、齿面磨损、齿面粘合、塑性流动等。齿轮点蚀是减速器使用中常见的损坏形式。齿轮点蚀严重时，减速器运行振动大，油温高，轴承磨损严重。
精密行星减速机齿轮点蚀过程分析：
齿面点蚀是一种表面疲劳磨损，齿轮的齿面发生裂纹并分离出微小的切屑而被破坏的结果。根据磨损疲劳分析理论，点蚀的基本作用机理是：由于表面存在粗糙度，两个齿面之间没有接触；磨损主要是由于接触区的局部变形而发生的机械破坏过程。
点蚀过程由三个发展阶段组成。一是表面的相互作用，二是接触材料在摩擦力作用下表面性质的变化，三是表面的破坏和磨损颗粒的脱落。表面相互作用是三个发展阶段中重要的，必须考虑到相互作用的双重性和接触的不连续性。
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